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项目概况
受中国工程物理研究院流体物理研究所委托，拟对磁控溅射镀膜机采购项目采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商参加本项目。
本次采购邀请由采购人通过下列方式邀请供应商：
公告邀请方式（公告发布媒介：（http：//ztbxx.caep.ac.cn/），公告期限为3个工作日）。
一、项目基本情况：
1.项目编号：3001YB22060865（2022-6-3-0588）
2.项目名称：磁控溅射镀膜机
3.预算金额：850,000.00元（人民币）
4.最高限价：本项目不设置最高限价，报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购预算调整成功与否。
5.采购方式：询比
6.简要技术需求或项目基本概况介绍：
采购需求一览表
序号 | 包件号 | 包件名称 | 产品名称 | 数量 | 采购预算 | 最高限价 | 合同履约期限 | 交货地点 | 简要技术要求 |
1 | 1 | 磁控溅射镀膜机 | 磁控溅射镀膜机 | 1台 | 850,000.00元 | 本项目不设置最高限价，报价超出采购预算时，是否能够成交，取决于采购人采购预算调整成功与否。 | 合同签订生效后210天内（日历日） | 中国工程物理研究院流体物理研究所 | 见下表 |
★（1）配备膜厚仪（传感器数量2个；传感器频率范围4-6MHz；膜厚显示分辨率1埃；速率分辨率0.6埃/s；膜厚分辨率0.15埃）； ★（2）配备Ar离子溅射枪用于基片清洗（电压200-1500V，电流0.5-4A，工作气压0.03-0.5pa）； （3）★①氢气和氩气两路气路，EP级气路管道，配备质量流量计（流量范围0-100SCCM），②Ar气气路入口安装氩气纯化器（出口气体杂质<10ppb）； ★（4）基片台直径不小于120mm，具备基片台气动挡板，基片旋转0～20转/分钟，基片台加热温度不低于600℃，精度±1℃，采用热电偶自动测温，PID控温； ★（5）真空腔室烘烤温度最高300℃；真空获取系统需采用干式涡旋真空泵+磁悬浮分子泵组合（干式涡旋真空泵抽速≥500L/min；磁悬浮分子泵抽速≥1100L/s，转速≥37800rpm），腔室极限真空要求达到5×10-5pa；空载抽速满足从大气抽至1.0×10-3Pa的时间≤15min，设备升压率≤0.5Pa/h； ★（6）设备停泵12小时后，真空≤10Pa； ★（7）2支3英寸永磁共焦磁控溅射靶，磁控靶配有气动挡板结构，各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜； ★（8）配备射频电源数量2台（1KW），参照或相当于美国AE射频电源、日本ULVAC射频电源或同等级射频电源； ★（9）直流脉冲溅射电源2台（1000W）； ★（10）直流溅射电源2台（1000W）； ★（11）脉冲偏压电源数量1台（-1000V，1000W）； （12）配备冷却水机和空压机； ★（13）电气控制系统采用PLC+触摸屏控制； （14）观察窗不小于Φ100mm，含磁力挡板。 | |||||||||
注：响应必须以包件为单位，对所参与包件号中的所有内容进行响应，不允许将包件拆开报价,也不允许将几个包件合并报一个价格，评审、成交以包件为单位。
本项目不接受联合体。
二、供应商资格条件：
1.具有独立承担民事责任的能力；
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4.具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录
5.参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6.截止至响应文件提交截止日，供应商不得为“信用中国”网站中列入失信被执行人或重大税收违法失信主体的供应商，不得为“”（）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚期限尚未届满的）；
7.不属于被列入中国工程物理研究院不良记录行为供应商名单（被禁止参加的）的在禁止期内的供应商及其法定代表人名下的其他企业。
8.不属于为本采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商再参加该采购项目的其他采购活动。
9.不属于单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商同时参加同一合同项下的采购活动的情形。
10. 其他特定资格要求：
无
三、获取采购文件
1.时间：2022年07月19日 至 2022年07月21日 （北京时间，法定节假日除外）
本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：王鑫
手机：18211055457
电话：010-89940160
邮箱：kefu@cgbidding.com
QQ：3492096196
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