无锡华润上华科技有限公司PENKIE1 对位报警维修公告

谈判采购

公告

公告编号：

DZXYGG202407230003

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目编号：DZCGXY202407230002

采购项目名称：PENKIE1 对位报警维修

采购内容或范围：

是否采用费率寻源：否

二、供应商资格要求

1. wafer loader传输重复性:AVR<±10um，repeatability<15um，测量次数为60次，连续7天。

2. 每日对位报警次数降低90%:现状每日报警70—100次），即不超过8次。（统计一个月数据为准）

3. 该设备能够作业:该设备能够作业一次光刻

4. 保修期:保修期半年

三、采购文件的获取

采购文件在招标平台发布，不再另

行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登录查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交

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报价截止时间：

2024-07-30 10:00:00

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（北京时间