无锡华润上华科技有限公司8A 4台外延专用Scrubber采购项目公告

谈判采购

公告

公告编号：

DZXYGG202408080017

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目编号：DZCGXY202408080005

采购项目名称：8A 4台外延专用Scrubber采购项目

采购内容或范围：3台减压外延机台专家Scrubber，8A 1台常压外延机台专用Scrubber

是否采用费率寻源：否

二、供应商资格要求

1. 资格要求:投标人必须为生产厂商，或其授权销售厂商，所投型号符合RFQ要求。

2. 业绩要求1:所投常压外延scrubber型号要在2023年1月1日至今在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂常压气相外延EPI工艺销售并安装至少5台以上的业绩。至少需提供3家以上量产半导体晶圆厂常压气相外延EPI工艺销售订单和安装记录

需提供项目销售合同（订单）证明。（包括合同或订单首页，合同或订单签订日期，签字或盖章页），需提供验收记录及常压气相外延EPI工艺使用证据

3. 业绩要求2:所投减压外延scrubber型号要在2023年1月1日至今在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂减压气相外延EPI工艺销售并安装至少8台以上的业绩。至少需提供3家以上量产半导体晶圆厂减压气相外延EPI工艺销售订单和安装记录

需提供项目销售合同（订单）证明。（包括合同或订单首页，合同或订单签订日期，签字或盖章页），需提供验收记录及减压气相外延EPI工艺使用证据

三、采购文件的获取

采购文件在招标平台发布，不再另

行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登录查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交

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报价截止时间：

2024-08-16 08:00:00

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（北京时间