无锡华润上华科技有限公司金属蒸发设备谈判采购公告

资格预审

公告

公告编号：

DZXYGG202603200012

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目名称：金属蒸发设备

采购项目编号：DZCGXY202603200008

采购内容和范围：金属蒸发设备1台

是否采用费率寻源：否

二、申请人资格要求

1. 资格:1.1 2021年1月1日起，在200mm硅基晶圆制造工厂针对金属Ge蒸发设备≥1台的整机销售经验，该机型需具备离子清洗、电子束蒸发和公转蒸发功能，且提供验收证明或验收报告。（销售合同或订单需要显示买卖双方公司名称、合同（或订单）号码、签订时间、产品名称、数量，价格等敏感信息可以隐藏，DEMO合同或订单无效；订单机型具备离子清洗、电子束蒸发和公转蒸发功能需提供RFQ截图证明；验收证明，同时需提供含Ge工艺的RFQ截图；验收报告需提供含Ge工艺验证的必要项，可以隐藏敏感信息）。

1.2必须完全满足《金属蒸发设备采购技术要求》所有条款并签字盖章。对于《金属蒸发设备采购技术要求》中5.6.3条镀膜性能指标中Ge 10000 Thickness (A)和WIW Thickness Uniformity (on 1um film）两项工艺规范，必须提供能够达标的证明资料。

1.3不接受代理商。

1.4不接受联合体。

三、资格预审文件的获取

资格预审文件在

华润守正采购交易平台

发布，不再另行线下提供纸质文件，凡有意参与者请自行登录查看和下载。

四、资格预审申请文件的提交

资格预审申请文件提交截止时间：

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2026-03-26 14:00:00

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（北京时间