中国工程物理研究院材料研究所真空转移装置采购项目竞争性谈判公告 (第三次)

二、采购项目基本情况

1.项目编号：21-01-002683

2.项目名称：真空转移装置

3.预算金额：46万元

4.最高限价：45万元，报价超过最高限价的，响应文件作无效处理。

5. 履谈判保证金：本项目不设定。

6.约保证金：本项目不设定。

7.采购需求：

  7.1采购产品名称及数量

7.2 采购项目技术指标参数要求：

7.2.1设备使用环境

电源： 220V AC 50Hz 或者380V AC 50Hz；

7.2.2总体要求

购置真空转移装置一套，主要由真空腔室、真空获得及测量部件、样品操纵组件、样品转移组件、专用电镜转接样品台、混气组件、烘烤组件及系统控制柜组成。可实现样品在两台超高真空设备(环境扫描电镜+场发射扫描电镜)中传递,避免外界环境污染，且具备简单的样品前期处理功能（如：加热、与环境气氛相互作用等）。其结构示意图见附件：

7.2.3 技术要求

“★”号指标为重要技术参数,必须满足指标，如不满足“★”号指标其投标将被拒绝。

（1） 真空腔室

    真空腔体，优质SS316或304不锈钢材质，内外电解抛光,腔体直径³f150mm，美观。

★真空度：本底真空优于2×10^-3Pa，漏率小于1 x10-9Pa×m³/s。

    真空腔体配置至少如下接口及要求: 2个电镜接口,1个分子泵抽气接口,1个真空测量接口,不少于3个观察视窗便于操作人员观测样品的交接,1个高温样品台接口,1个氮气破空接口, 1个残气分析仪备用接口,1个混气组件充气接口等，1个手动进样舱门。各接口设计需要考虑使用及维护的安全性、便利性。

（2）真空获取及测量

    采用机械泵、分子泵作为真空获取设备。

★ 分子泵：抽速不小于300L/s；

★ 机械泵：抽速不小于5m³/h；

    真空泵组从普发、爱德华或同等质量的泵组品牌中选择。

    真空测量采用进口全量程规管：测量范围为大气至10^-7Pa；

  全量程规管从爱德华或同等质量的全量程规管品牌中选择。

    泵阀需要具备安全联锁功能。

（3）样品操纵及温控

使用样品杆进行样品操纵，样品杆维度、行程满足传样要求。配备加热样品台，样品台具备升温稳定、与环境气氛作用时不易损坏，可更换等特点。

加热台工作温度：室温～800℃，PID温控，控温精度：±0.1℃。

（4）样品转移组件

★配备两套样品转移组件，用于样品在真空腔及两台电镜之间相互传递。

每套转移组件由磁力杆、专用样品托抓取头、角度调节器及超高真空插板阀组成。当真空转移腔真空较差时，插板阀无法打开，可保护电镜真空不被意外破坏。样品转移组件操作便利，可靠性高。

（5）专用电镜转接样品台

制作专用样品托，可实现样品在两电镜之间相互传递。

（6） 混气组件

具有4路混气功能，真空腔气体反应压力最高可达10³Pa。

（7）烘烤组件

系统烘烤采用加热带进行烘烤，含有加热带、热电偶，温控模块，加热温度范围：室温～ 150℃。

（8）系统控制柜

220V交流电，控制柜将集成系统所需的全部控制电路及真空自锁系统

8.交货期：合同签订生效后4个月内交货并安装调试完毕

9.交货地点：四川绵阳辖区甲方指定地点

10.本项目（是/否）接受联合体响应:否

三、申请人的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：（如属于专门面向中小企业采购的项目,供应商应为中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位）：/。

3.本项目的特定资格要求：

3.1参加本次采购活动前3年内，供应商及其现任法定代表人、主要负责人不得具有行贿犯罪记录；

3.2截至提交响应文件截止时间，供应商不得为“信用中国”网站、（）中被列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范围内）；

3.3被列入中国工程物理研究院不良行为记录名单的供应商及其法定代表人名下的其他企业在禁止期内不得参加本次釆购活动；

3.4单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动；

3.5本项目提出的特定条件：/ 。

四、获取竞争性谈判文件

1.时间：2021年6月23日至 2021年6月25日，每天上午8:10至11:40，下午14:10至17:50（北京时间，法定节假日除外）