润芯感知科技（南昌）有限公司Plasma Scrubber 项目招标公告

  根据项目进度，润芯感知科技（南昌）有限公司Plasma Scrubber 项目已具备招标条件，现进行公开招标。

一、项目基本情况

  招标人：润芯感知科技（南昌）有限公司

  建设地点：南昌市高新技术开发区天祥北大道588号高新微电子产业园一楼

  项目规模：/

  项目资金来源：自筹

  招标编号：T11002322SZ0025

  项目名称：润芯感知科技（南昌）有限公司

  标段名称：Plasma Scrubber 项目

  招标内容和范围：采购5台用于Etch工艺的Plasma-wet Scrubber，处理气体包含：CF4、CHF3、C4F8、SF6、CL2、BCL3、H2，供应商必须提供符合业主使用要求的Scrubber，有效地处理各种有害气体。

  交货期/工期：签约后90天内交货完成

  注：详细内容见招标文件，以招标文件为准。

二、投标人资格能力要求

  1.资格要求：
  2.业绩要求：2019年1月1日至今在半导体晶圆厂，有50台以上plasma-wet scrubber销售业绩（提供销售合同或发票等凭证）。
  
  3.联合体投标： 不允许
  4.代理商投标：允许
  5.信誉要求：投标人（含联合体投标的成员单位）不属于在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）或各级信用信息共享平台中查明的失信被执行人
  6.其他要求：无

  备注：

三、招标文件的获取

  （一）发售时间

    2022年12月15日- 2022年12月20日

  （二）招标文件价格

    购买招标文件需支付招标文件工本费人民币500.00元（人民币伍佰元整）。自愿购买，一经售出，费用不予退还。

  （三）招标文件发售方式

    在招标平台在线发售，不接受来人现场购买。

  1．购买招标文件

    在招标平台进行以下操作：

    投标人登录→业务管理→投标报名→报名成功后，在购买招标文件菜单下选择相应 标段→支付招标文件费用→支付成功之后下载招标文件。详见网站帮助中心下的平台手册。

  2．支付方式：在线支付。

  3．购买招标文件仅提供电子发票，不再提供其他任何形式的发票。电子发票在支付成功后自动生成，可以在招标文件下载页面下载，也可登录后在“业务管理-费用与发票”菜单下载。

四、截标/开标时间、地点

  截标/开标时间：2022/12/30 09:00:00（北京时间