招标公告

混合离子束溅射薄膜沉积系统项目已具备招标条件。资金来源为专项资金，中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国科学院光电技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1货物名称：混合离子束溅射薄膜沉积系统。

1.2招标编号：0779-23400903A021。 

1.3主要功能要求:混合离子束溅射薄膜沉积系统主要由高真空系统、离子束溅射系统、基片装载和运动系统，、基片加热系统、光学膜厚控制系统等组成，具备人工操作和全自动薄膜沉积控制功能。

1.4主要技术要求：

①　真空室极限真空≤2x10-7mbar，真空室漏率≤5.0x10-5 mbar.l/s；

②　双离子源均为射频源，其中主离子源离子束直径≥15cm，最大离子能量>1keV，最大离子束流≥600mA，辅助离子源离子束直径≥8cm；

③　镀膜光学元件要求：最大直径≥ Φ500mm，重量≥50kg；

④　膜厚非均匀性要求：Φ500mm口径非均匀性≤±0.5%；

1.5数量：2套。

1.6交货期：分批交货，第一套合同签订后10个月完成制造和预验收，12个月货到客户现场；第二套合同签订后13个月完成制造和预验收，15个月货到客户现场。

1.7 项目现场：中国科学院光电技术研究所（四川省成都市双流县西南航空港光电大道1号）。

2. 对投标人的资格要求

2.1 本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2 所投产品业绩：投标人须提供至少2台的本次所投产品同类型的设备销售业绩，提供销售合同复印件。合同内容应能体现甲乙双方盖章或签字页、标的物名称、制造商名称等主要内容。

2.3 本次招标接受代理商投标，代理商必须得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2023年09月12日至2023年09月19日17时(北京时间)，登陆平台（网址：,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

3.2 招标文件每套售价人民币800元，售后不退。