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受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年8月6日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购单片式化学清洗机1套、全自动去胶剥离机1套、晶圆清洗机1套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目编号：0762-2440CBNB2021
招标项目名称：甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目（重招）
项目实施地点：中国浙江
招标产品列表（主要设备）：
序号 | 货物名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 单片式化学清洗机 | 1套 | 主要用于成膜前/后清洗、刻蚀前/后清洗、离子注入前/后清洗、扩散前/后清洗、标准RCA清洗、晶圆背面清洗，并兼容非金属去胶工艺等。 | / |
2 | 全自动去胶剥离机 | 1套 | 主要用于微纳器件Lift-off制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶覆盖区域的金属图形。 | / |
3 | 晶圆清洗机 | 1套 | 主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（CVD）前后、物理气相沉积（PVD）前后、化学机械拋光（CMP）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。 | / |
*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。
3. 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
是否接受联合体投标：不接受；
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间：2024年8月6日
招标文件领购结束时间：2024年8月13日
招标文件领购地点：（宁波鄞州区天童南路666号中基大厦19楼前台，联系人：李小姐，联系电话：0574-88090098，电子邮箱：719126619@qq.com）；或在线购买，购买地址链接：https://dwz.cn/BzVsB93Q（此链接仅限于人民币支付）
招标文件售价：每标段售价500元人民币或80美元，售后不退
本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：王鑫
手机：18211055457
电话：010-89940160
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