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甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目 - 国际招标公告

2024-10-24 18:09:27浏览: 评论: 来源:中国采购招标网   

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024年10月24日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。

资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。

2. 招标内容:

招标项目编号:0762-2440CBNB2033  

招标项目名称:甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目

项目实施地点:中国浙江

招标产品列表(主要设备):

序号

货物名称

数量

简要技术规格

备注

1

半自动槽式SPM清洗机

1套

高温SPM工艺主要用刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗。

/

2

半自动槽式有机清洗设备

1套

主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。

/

3

手动片盒清洗机

1套

对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。

/

4

半自动槽式KOH刻蚀机

1套

常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。

/

5

半自动槽式BOE刻蚀机

1套

主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。

/

*备注:投标人必须对表中所有货物进行投标,否则作无效标处理。

3. 投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品(半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机)的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;

是否接受联合体投标:不接受;

未领购招标文件是否可以参加投标:不可以。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间:2024年10月24日

招标文件领购结束时间:2024年10月31日

招标文件领购地点:(宁波鄞州区天童南路666号中基大厦19楼前台,联系人:李小姐,联系电话:0574-88090098,电子邮箱:719126619@qq.com);或在线购买,购买地址链接:https://dwz.cn/BzVsB93Q(此链接仅限于人民币支付)

招标文件售价:每标段售价500元人民币或80美元,售后不退


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联系人:王鑫
手机:18211055457
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