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HF气相刻蚀设备采购项目【重新招标】招标公告

2025-06-06 11:14:18浏览: 评论: 来源:中国采购招标网   

HF气相刻蚀设备采购项目国际招标

(重新招标)

日期:2025年6月5日

招标编号:0618-254TC259Q05M(GGPT2402001)

项目名称:HF气相刻蚀设备采购项目(重新招标)

受粤港澳大湾区(广东)量子科学中心委托对下列产品及服务进行国际公开招标,于2025年6月5日发布招标公告。本次招标采用公开招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

  1. 招标条件
    1. 项目概况:购置HF气相刻蚀设备采购1套。
    2. 资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
    3. 项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
  2. 招标内容

2.1项目实施地点:广东省深圳市

2.2招标产品列表:

序号

产品名称

主要技术参数

数量

交货时间

1

HF气相刻蚀设备采购

*5.4.1催化剂:水作催化剂,没有添加任何其他催化剂。

*5.4.2释放良率:无黏附的干法释放,Mems结构100%完全释放。

*5.4.3刻蚀速率:悬臂结构大于0.3 um/min;

空白暴露氧化硅大于0.1um/min。

*5.4.4片内均匀性≤5% 1。

*5.4.5片间均匀性≤5%1。

*5.4.6选择比:对PECVD氮化硅30:1。

1套

合同生效后43周内

2.3简要技术规格:具体详见第八章“货物需求一览表及技术规格”。

  1. 投标人资格要求

3.1投标人应具备的资格或业绩:详见投标资料表。

3.2是否接受联合体投标:详见投标资料表。

3.3未在深圳分公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

3.4未在本项目投标截止时间前,在中国国际招标网(www.chinabidding.com)成功注册的投标人,不得参加投标。

  1. 招标文件的领购

4.1招标文件领购开始时间:2025年6月5日(节假日除外)上午9时00分至11时30分,下午13时30分至17时00分(北京时间)

4.2招标文件领购结束时间:2025年6月12日17时00分(北京时间)

4.3招标文件领购地点:本项目采用线上发售招标文件方式,平台

4.4招标文件售价:本招标文件每包售价为800元人民币或110美元,售后不退。


本招标项目仅供正式会员查看,您的权限不能浏览详细信息,请注册本网会员并成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人:王鑫
手机:18211055457
电话:010-89940160
邮箱:kefu@cgbidding.com
QQ:3492096196
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