薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统项目公告

薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统招标公告

项目所在地区：北京市

1.招标条件

本招标项目薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统（项目名称）（项目编号：0730-2511010525/01）招标人为中国航发北京航空材料研究院，招标项目资金已落实。 本项目已具备招标条件，现对薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统（设备名称） 采购进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

2.1 项目名称：薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统。

2.2 设备名称：薄膜热电偶功能层沉积系统、小尺寸磁控溅射试验系统。

2.3 数量：2台（薄膜热电偶功能层沉积系统1台、小尺寸磁控溅射试验系统1台）。

2.4 招标文件简要技术规格：

薄膜热电偶功能层沉积系统关键技术指标：（1）薄膜沉积的均匀性：沉积薄膜厚度为2-3μm，偏差±0.1μm；（2）最高加热温度≥500℃，长期工作温度≥450℃，温控精度±5℃；（3）具有连续加工能力，兼容不同尺寸工件加工，最大加工尺寸工件≥1000*400*350mm；（4）具有矩形靶（靶面积≥600*150mm，数量1个）及圆靶（Ф76.2mm，数量4个），至少1台射频电源（≥10kW，厂家：AE、霍廷格等知名品牌或以上），1台直流电源（≥10 kW），2台直流电源（≥1 kW），各靶均可进行射频、直流溅射；（5）真空腔室（低真空部分，极限真空≤8*10-1Pa，抽速：30min真空度≤1Pa），过渡、镀膜腔室（高真空部分，极限真空度≤6.6×10-5Pa，抽速：短时间暴露大气环境，120min真空度≤7×10-4Pa，保压：停泵8h后≤6Pa）。

小尺寸磁控溅射试验系统关键技术指标：（1）真空腔室尺寸≥Ф650*600mm；（2）极限真空度≤6.6×10-5Pa，抽速：短时间暴露大气环境，120min真空度≤7×10-4Pa，保压：停泵8h后≤6Pa ；（3）溅射靶头数量4个，靶头可适配射频、直流两种电源；（4）最高加热温度≥650℃，长期工作温度≥600℃，温控精度±5℃；（5）配备射频电源4台，直流电源1台，其中进口电源数量2台（进口电源品牌为AE、霍廷格等知名品牌同等及以上产品）、（6）靶在上，待沉积样品在下，从上往下沉积。

更多要求详见招标文件。

2.5 交货期：合同签订生效后3个月。

2.6 交货地点：用户现场（北京）。

3.投标人资格要求

3.1 资质要求：

（1）在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他组织。投标文件提供有效营业执照复印件或事业单位法人证书复印件或依照《中华人民共和国民法典》规定取得的登记或批准文件复印件。

（2）若投标人为代理商，投标文件提供制造商授权书（原件）。

3.2财务要求：

投标人为企业的，提供2024年度经审计的财务会计报表（复印件），需包含（1）资产负债表（2）现金流量表（3）利润表（4）会计附注或审计报告正文。

投标人为事业单位的，提供2024年度的财务报表复印件，包括资产负债表、收入支出表等主要报表。

投标人成立时间不足一个会计年度的，提供成立以来的财务报表复印件，需包含（1）资产负债表（2）现金流量表（3）利润表。

3.3 业绩要求：不作要求。

3.4 信誉要求：

（1）投标人为企业的，未列入国家企业信用信息公示系统（网址https://www.gsxt.gov.cn/index.html）的“经营异常名录”和“严重违法失信名单”。提供国家企业信用信息公示系统查询截图，未提供的则以评标现场公开查询结果为准。

（2）投标人为企业或事业单位的，未列入信用中国（通过信用中国跳转至中国执行信息公开网，网址https://zxgk.court.gov.cn/shixin/）的“失信被执行人”。提供中国执行信息公开网查询截图，未提供的则以评标现场公开查询结果为准。

3.5 其他要求：须提供投标人授权代表开标前4个月内（不含开标当月）连续3个月由投标人缴纳的社保证明材料。

3.6本次招标不接受联合体投标。联合体投标的，应满足下列要求：/。

3.7 按照本公告要求向招标代理机构成功购买招标文件的投标人才具有投标资格。

4.招标文件的获取

4.1 发售时间：2025年9月30日09时00分至2025年10月14日16时00分（北京时间）