大面积曝光机-招标公告

招标公告

大面积曝光机项目已具备招标条件。资金来源国拨资金，出资比例为100%。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国电子科技集团公司第四十四研究所 （招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1货物名称：大面积曝光机。

1.2招标编号：0779-26400424A001。 

1.3主要功能要求:大面积曝光机主要用于12英寸读出电路晶圆图形曝光及大面积晶圆级键合对位。主要包括设备机架与主体、校准系统、光学系统、支撑系统、计算机控制系统和其他要求六个主要功能模块。

1.4主要技术指标：正面曝光加工尺寸12寸；双面对准加工尺寸6英寸；正面套刻精度＜0.5μm；双面套刻精度＜2μm；曝光均匀性＜±5%；真空吸附模式下分辨率＜1μm(正面)。

1.5数量：1台。

1.6 交货时间：2026年12月10日前。

1.7 项目现场：重庆市沙坪坝区西永微电园西永大道23号 。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2 设备业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号的设备销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人或所投设备制造商），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方及签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

2.3本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2026年04月22日至2026年04月29日17时(北京时间)，登陆平台（网址：,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

3.2 招标文件每套售价800元(从平台下载电子发票），售后不退。