无锡华润上华科技有限公司低压外延wet scrubber购买项目公告

资格预审公告

公告编号：DZXYGG202605270005

一、采购项目基本情况

采购人：无锡华润上华科技有限公司

采购项目名称：低压外延wet scrubber购买项目

采购项目编号：DZCGXY202605270002

采购内容和范围：低压外延wet scrubber购买，详见该项目发包规范。技术联系人：丁龙波，13601484261。

是否采用费率寻源：否

二、申请人资格要求

1. 资格:1、资格条件：
1.1投标人必须为生产原厂，或其授权代理厂商(提供授权代理证书，项目授权不予接受)；
1.2 具有Local Scrubber设备制造场地（授权代理厂商提供生产原厂的相关资料）。
1.3 所投型号Wet Scrubber有Semi S2证书（提供semi S2完整的报告）
2、业绩要求：
厂商所提供产品必须是2023年前就已推出，并在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂EPI工艺有销售安装实例的。（要求提供销售清单或证明材料）,所投型号从2022年1月1日至投标截止日，在国内8寸或8寸以上量产半导体晶圆厂EPI工艺销售并安装至少5台的业绩，且工厂数量不少于2家。（合同或订单签订时间,分包业绩不予认可）

2.1提供销售合同或订单（包含合同或订单首页、签订日期、签字或盖章页）；若合同或订单无法体现，需提供业主签字或盖章的验收报告或测试报告等其他资料给予证明。
2.2 需提供合同或订单对应的签字或盖章的验收报告或对应订单完整金额的发票。
2.3需提供设备现场运行证据.

三、资格预审文件的获取

资格预审文件在华润守正采购交易平台发布，不再另行线下提供纸质文件，凡有意参与者请自行登录查看和下载。

四、资格预审申请文件的提交

资格预审申请文件提交截止时间：_ 2026-06-03 10:00:00 __（北京时间