润西微电子（重庆）有限公司25年备件清洗项目公告公告

采购

公告

公告编号：

DZXYGG202412100010

一、采购项目基本情况

采购人：润西微电子（重庆）有限公司

采购项目编号：DZCGXY202412100009

采购项目名称：25年备件清洗项目公告

采购内容或范围：采取按照设备机组分类进行分包招采（本次项目为合格制采购，未验证厂商也可参加报价，但未验证厂商中标仅获得Demo资格）；

标一：EOT 、EOC（不含SHOWER HEAD ），EX AL、MOCVD、PH （cupper）工艺备件备件清洗

标二：EOC SHOWER HEAD （激光清洗工艺）清洗

标三：ETCH除EOC、EOT以外的其他机组和BGBM工艺备件清洗

标四：PVD除Ex Al、MOCVD以外的其他机组、IMP工艺备件、FUR工艺备件

二、供应商资格要求

1. 资格条件:1.1 提供砷/磷物质处理资格证明、环评报告及批复、排污许可；

1.2 以承诺书的形式，保证可自行清洗四大模块（TF/ETCH（含BGBM）/DIFF(含IMP)/PHOTO）；

1.3 供应商具备贵金属回收资质，如不具备则需要以承诺书的形式保证协助甲方寻找具备市场竞争力的银渣回收合作商；

1.4 通过我司品质验证（DEMO验证通过获得订单资格，未验证厂商也可参加报价，但未验证厂商中标仅获得Demo资格）

2. 业绩要求:2021年1月1日至今，在中国大陆服务三家及以上12寸量产FAB，设备备件进行清洗（DEMO 不属于业绩），以订单合同为准（现有合格厂商与品质验证中厂商，可不提供业绩佐证资料参与本次项目）

三、采购文件的获取

采购文件在招标平台发布，不再另

行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登录查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交

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报价截止时间：

2024-12-21 08:00:00

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（北京时间