12英寸非接触式光刻机-公开招标公告

1. 招标条件

本招标项目12英寸非接触式光刻机招标人为中国科学院上海技术物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对12英寸非接触式光刻机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20250915A005

2.2 招标项目名称：12英寸非接触式光刻机。

2.3 数量：1套。

2.4 核心技术指标：

2.4.1 曝光光源：汞灯（i线）

2.4.2 最大光刻面积：≥8英寸

2.4.3 分辨率：优于0.5μm (正性光刻胶厚度1um)

2.4.4 套刻精度：优于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光时间：≤120s @300mj（8英寸全片超过1.4亿个多边形结构）

2.4.6 掩模版下表面与芯片上表面之间距离不小于10mm

2.5 交货地点：中国科学院上海技术物理研究所。

2.6 交货期：合同生效后5个月内。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2本次招标接受代理商投标。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4其他要求：授权代表须提供投标截止时间前最近6个月中任意1个月社保证明文件（如果委托代理人的社保不是投标人缴纳，需要提供委托代理人和投标人之间的用工合同，投标人委托第三方投保的有效合同证明）。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2025年5月13日至2025年5月20日17时(北京时间)，登陆平台（网址：,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元(从平台下载电子发票），售后不退。