扫描电子显微镜系统采购项目（二次）招标公告

受中汽院（江苏）汽车工程研究院有限公司的委托，对扫描电子显微镜系统采购项目(二次）进行国际公开招标，现邀请合格投标人参加投标。

1.1招标内容：扫描电子显微镜系统采购项目，详见第八章“货物需求一览表及技术规格”。

1.2资金到位或资金来源落实情况：资金已到位，资金来源为企业自筹

1.3项目已具备招标条件的说明：已具备

2.1招标项目编号：0701-254208060023

2.2招标项目用途：扫描电子显微镜（Scanning electron microscope, SEM）在半导体芯片失效分析领域具有重要应用价值。其工作原理是通过聚焦电子束扫描测试样品表面，激发材料产生二次电子信号。通过对二次电子信号进行采集和分析，可获得样品表面材料结构信息及材料衬度特征。SEM具有优异的成像性能，其图像分辨率可达1 nm量级，特别适用于半导体芯片中纳米级结构的表征与分析。

2.3项目实施