招标公告

1. 招标条件

本招标项目涂胶显影机及关键零部件招标人为西南技术物理研究所，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对涂胶显影机及关键零部件采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1招标编号：C1100000096014753011

2.2 项目编号： C1100000096014753   内部编号：ZKX20250714A002

2.3 招标项目名称：涂胶显影机及关键零部件。

2.4 数量：1套。

2.5 主要功能要求：

涂胶显影机（含配套设备）配置6寸、8寸兼容的2个涂胶单元和2个显影单元（2C2D）模块，且需与0.13μm光刻机进行Inline通线运行；配置2寸、3寸、4寸兼容的涂胶单元和2个显影单元（1C2D）模块，offline工作。配置的涂胶单元要求能够实现在晶圆上各类光刻胶的高均匀自动涂胶，且具备去边胶、背面清洗、增粘等功能；配置的显影单元可实现各类光刻胶的高均匀自动显影，且具有喷淋显影、浸泡显影、背洗等各种可编辑显影模式；配置高控温精度热板和冷板单元，用于涂胶后烘胶和冷却工艺；各单元之间配置机械臂，要求3寸、4寸、6寸、8寸晶圆可自动传片。

2.6 交货地点：西南技术物理研究所。

2.7 交货期：合同生效后10个月内。

3. 投标人资格要求

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 资质要求：/。

3.3 财务要求：投标人应具有健全的财务制度，投标人为企业单位的，应提供近3年（2022年至2024年）经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，成立不足3年的，可提供成立以来的经审计的财务会计报表。上述财务会计报表至少应包括审计报告正文（由会计师事务所出具的审计报告必须由会计师事务所盖章、注册会计师签名和盖章，未经签字盖章的审计报告视为无效审计报告，将被否决）、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件，缺一不可。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务状况表。投标人为事业单位的，不作要求。

3.4 业绩要求：投标人应提供至少1份2023年1月1日至今已签订的本次招标类似产品供货业绩，提供合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供对应技术协议或技术规格书）等主要内容，未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

3.5 其它要求：本项目不接受代理商投标

3.6本次招标不接受联合体投标。

3.7 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2025年12月4日至2025年12月11日17时00分00秒（北京时间，下同）